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Brooks質量流量計5800系列中文說明書

5800 系列質量流量計和質量流量控制器在穩定性和可靠性方面堪稱標G，因而贏得廣泛的認可。這些產品具有廣泛的流量測量范圍并適用于各種各樣的溫度和壓力條件，非常適合在化工和石化研究、實驗室、分析、燃料電池和生命科學等領域的應用。

優點：

• Z越的信噪比性能，可在低設定值下獲得高精度

• 通過改進傳感器制造和燒機測試工藝獲得Z越的長

期穩定性

• 恒溫封裝可降低對外部溫度變化的敏感性

寬流量范圍

5800 系列的流量范圍極廣。5850 型具有低至 3 ccm的滿量程流量。借助 50:1 的高調節比，可重復測量或控制 0.06 ccm 流量的氣體！5853 型可監測或控制高達1000 lpm 的氣體流量。

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